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          新品發布:支持數據驅動開發的兩款FE-SEM隆重上市

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          新品發布:支持數據驅動開發的兩款FE-SEM隆重上市

          發布日期:2021-12-13 作者:譜賽斯 點擊:

          全|球|首|發


          強化自動獲取大量數據功能

          實現高效率觀察


          日立高新技術公司(以下簡稱日立高新技術)此次推出兩款FE-SEM*1“SU8600”和“SU8700”(以下簡稱此系列產品),這兩種型號配置自動獲取大量數據的功能。


          FE-SEM是用于觀察、測量和分析樣品細微結構的場發射掃描電子顯微鏡,因此被廣泛用于半導體、生命科學和材料研發等領域。未來,數據驅動開發的進步需要龐大的數據支撐,為此,日立高新技術特推出此系列產品,支持短時間內獲取大量數據,減輕用戶的負擔。


          *1. FE-SEM:Field Emission Scanning Electron Microscope(場發射掃描電子顯微鏡)

          SU8600 SU8700.jpg

          場發射掃描電子顯微鏡 SU8600(左)/SU8700(右)


          圖片

          · 產品開發背景 ·


          FE-SEM獲得的圖像分辨率高,信息豐富,樣品處理相對簡單,并且它可以觀察、測量并分析樣品的細微結構,因此被廣泛應用于納米技術、半導體、電子器件、生命科學、材料等領域。


          近年來,以Materials Integration*2為代表,其應用領域及用途在不斷擴展,短時間內獲取大量數據,減輕作業負荷成為市場的一大需求。為滿足這一需求,此次特推出SU8600和SU8700,這兩種型號是在日立不斷改進與沉淀的具有高分辨性能的FE-SEM基礎上,進一步優化了自動化功能,以快速獲取大量數據。


          *2. Materials Integration:是一項綜合性材料研發技術,以縮短材料研發周期為目的,整合運用了理論/實驗/數據分析/模擬/數據庫。

          圖片

          · 產品特點 ·

          在細微結構分析中,SU8600可以實現低加速電壓觀察,對高分子等易受電子束照射影響的材料進行高分辨觀察。SU8700可配置各種分析附件,適用于從低加速觀察到高束流的EBSD*3分析,支持陶瓷、金屬等不同材料的解析。


          此系列產品主要具有以下三大特點:

          1.支持自動獲取數據

          在FE-SEM的觀察和分析中,需要根據測量樣品與需求調整觀察條件。調整所需時間的長短取決于用戶的操作熟練度,這是造成數據質量與效率差異的因素之一。此系列產品標配自動調整功能,可避免人為操作導致的差異。

          此外,隨著儀器性能的提升,需要獲取的數據種類與數量也在增加,手動獲取各種大量數據會大大增加用戶的作業負擔。此系列產品可選配“EM Flow Creator”,用戶可根據自身需求設定條件,自動獲取數據,這對于未來通過獲取大量數據實現數據驅動開發起到重要作用。

          2.增加獲取信息的種類與數量

          通過SEM能夠收集到多種信號,且此系列產品Z多可以同時顯示和存儲6個檢測器的信號。在減少圖像獲取次數的同時能夠獲取多種信息。

          此外,為一次性獲取大量信息,Z大像素擴展到了40,960 x 30,720*5,是當前型號*4的64倍。利用這一功能,可憑借一張數據圖像有效評估多處局部的細微結構

          3.增強信號檢測能力

          SU8600開發了多個新型選配檢測器,加強了對凹凸信息、發光信息的檢測能力。此外,還提高了背散射電子信號檢測的響應速度。

          SU8700的樣品倉設計巧妙,可使用短WD*6進行EDS*7分析,通過提高EDS分析的空間分辨率,能夠實現更微小部位的分析。

          *3. EBSD:Electron Back Scatter Diffraction(電子背散射衍射)。一種用于晶體樣品取向分析的方法。
          *4. 與Regulus系列FE-SEM對比

          *5. 選配,可擴展

          *6. WD:Working Distance. (工作距離:SEM物鏡與樣品間的距離)

          *7. EDS:Energy Dispersive X-ray Spectroscopy(能譜儀)



          本文網址:http://www.findht.com/news/454.html

          相關標簽:電鍍膜厚儀

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